半導體微型氣體質量流量計CXB-4-R4-D-A1-F4

半導體微型氣體質量流量計CXB-4-R4-D-A1-F4

半導體微型氣體質量流量計
型號:GFMM-CXB-4-R4-D-A1-F4
量程:0-200SLM Air
耐壓:3MPa
用途與特點
質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥和真空等多種領域的科研和中有著重要的作用。其應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
半導體微型氣體質量流量計CXB-4-R4-D-A1-F4

主要技術指標
1 量程范圍 （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM
（0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM
2 準確度 +1.0%F.S
3 線性 +0.5~1.5%F.S
4 重復精度 +0.2%F.S
5 響應時間 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
6 工作壓差 （0.1~0.5）MPa
7 耐壓 3MPa
8 工作環境溫度 0~70℃
9 數字量 RS485 MODBUS協議
10 模擬量 DC 0~5V ，4~20mA 可選
11 供電 DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
12 電氣連接 DB15
13 漏率 1×10-8SCCSHe
14 底座材質 316L不銹鋼
15 密封材質 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
16 氣路接頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞