微機型電阻冷磁控復合真空計 ZDF-5214M
微機型電阻冷磁控復合真空計 ZDF-5214M 1.0×10 5～1.0×10-7 ZJ-52T/M014A
ZDF系列復合真空計
ZDF-5214M4/5214M-IIL 電阻，電離復合真空計
ZDF-5214M 復合計，由一路低真空測量電阻（ZJ-52T）單元與一路高真空測量電離（M014A）單元組合，電阻規單元與電離規單為獨立測量單元，
ZDF-5214M-IIL復合計由二路低真空測量電阻（ZJ-52T）單元與一路高真空測量電離（M014A）單元組合，一路電阻規單元為獨立測量單元，另一路電阻規單元與1路電離規單元安裝同一測量點作為復合測量單元。
該兩種復合真空計的電源開啟/關閉與電離的啟動/關閉即可通過儀器自動操作也可通過外控PLC來實現，為滿足當前真空設備自動化控制的技術要求，該兩種真空計都具備繼電器控制，串行通訊，模擬量輸出等功能，
*性能
電阻規的零點數字自動校正，電阻規故障自動判斷，電離規工作狀態自動判斷
離規陽極電壓可控
微機型電阻冷磁控復合真空計 ZDF-5214M
測量范圍：1.0×105PA～1.0×10-7Pa/建議在有效范圍內設置
配接規管：ZJ-52T/玻璃；金屬直插 DN16/25/35CF；DN10/16/25/40KF等不同接口
M014A/ DN35CF 40KF等不同接口；
定值輸出負載能力：AC220V/3A
控制方式：點控或區域控制/帶掉電記憶
顯示方式：五位LED數字顯示，
模擬輸出：0-5V/4-20mA(用戶選配)
通訊接口： RS232/RS-485(用戶選配)
使用環境：溫度0-10度，濕度小于等于95%
測量范圍：1.0×105～1.0×10-7Pa
配接規管：ZJ-52T電阻規1只/M014電離規一只
測量路數：2路（ZJ-52T低真空規管和一路M014高真空規管安裝在一個測量點
顯示路數：2個窗口
控制路數：4
工作電源：AC50Hz / 220V±10% / 60W
面板尺寸：480×88 mm2
機箱尺寸：440（寬）×260（深）×80（高）mm3
